基于分区式数字微镜的高光通量光谱仪的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12356833

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基于分区式数字微镜的高光通量光谱仪(一)、技术领域:本发明涉及一种光谱仪,特别涉及一种基于分区式数字微镜的高光通量光谱仪。(二)、背景技术:光通量和分辨率是光谱仪器的两个重要指标,目前,人们多采用减小入射狭缝的手段来提高光谱仪的分辨率,但是这势必会减小整个光谱仪器系统的光通量。现有的微型数字光谱仪多采用单点探测器进行光谱的探测,这在一定程度上降低了仪器的成本,减小了仪器尺寸,但是单点探测器的受光面积非常小,灵敏度也不高,这势必影响微弱信号的检测。数字微镜光谱仪采用具有高反射率的数字微镜阵列结合哈...
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