技术编号：12366940
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及硅靶材生产技术领域，特别涉及一种特殊角度硅靶材的生产方法。背景技术普通平面靶材在加工特殊角度或控制精度倒角时，其生产难度在于其普通平面磨床不能掉转角度，龙门磨床不方面小件加工，利用加工中心等数控机床刀具问题难解决，利用电火花加工粗糙度底，硅材料由于脆性大，机械加工成为难点，目前传统方式采用普通倒角机进行45度角加工，效率低，加工精度难控制，崩边严重，无法完成其他角度的的加工，更无法完成所需角度的精度的控制。发明内容为克服现有技术的不足，本发明提供一种特殊角度硅靶材的生产方法。本发明为实...
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