技术编号:12369662
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明有关一种用于基板的清洁模块与方法,具体来说,特别是一种具有多种清洗作动组合的清洁模块与清洁方法。背景技术一般而言,在基板(或面板)的制作过程中会残留许多残留物,例如光阻、涂胶残留、氧化铟锡(IndiumTinOxide,ITO)残留等化学物质。由于基板残留物对于后续的工艺影响甚巨,也进一步造成基板的良率下降,因此目前对于基板的清洁度要求也愈来愈严格。然而,现有的毛刷、刮刀或海绵结构之类的清洁模块,其与基板之间的摩擦力不足,再者,习知的作动清洁方式较为单调,例如利用上下滚轮夹持以清洁基板的方...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。