技术编号：12371229
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及氧化锆传感器技术领域，具体涉及氧化锆传感器芯片制作的氧化锆基片流延生产设备。背景技术氧化锆传感器用于测量汽车燃烧过程中残余氧量，它在减少环境污染、提高燃烧效率方面起着积极的作用。氧化锆传感器的关键部件是氧化锆芯片，氧化锆芯片最新采用多层氧化锆基片上下叠压工艺。现有技术中，氧化锆基片采用流延方式进行生产，在流延生产的流延阶段，目前通常采用单一刀头的平刮刀来对浆料表面进行刮平来形成坯料，由于浆料的黏度和流变特性的控制比较困难，所以坯片表面在流延阶段易生成表面条纹；另外，当通过多个供料管道对...
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