技术编号:12381647
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及含磷回收装置,尤其涉及一种含磷烟尘的处理装置。背景技术随着LED、激光二极管、高频器件等领域的蓬勃发展,含磷化合物半导体单晶得到广泛的开发与利用。近年来,以磷化铟和磷化镓等为代表的含磷化合物半导体单晶逐步产业化。含磷化合物半导体单晶在生长过程中,晶体熔体的高解离压会产生大量的磷蒸汽;在降温过程中,产生的磷蒸汽大部分以白磷的形态冷凝在密封石英管或者炉体内;上述白磷在晶体取出的过程中,会接触氧气并开始燃烧,产生大量烟尘,这些烟尘中,含有部分未燃烧的白磷和燃烧产物五氧化二磷。目前的烟尘处...
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