技术编号:12416639
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及单晶硅生产,尤其涉及的是,一种单晶炉连续拉晶多次加料机构。背景技术单晶炉是生产太阳能电池板内所使用单晶硅片的主要生产设备。一般按照装料、抽真空、化料、引晶、放肩、等径、收尾、停炉等几个步骤进行生产。单晶硅的生产过程是在真空氩气下,在坩埚内填充固态多晶硅原料后,通过加热使多晶硅原料熔化,通过籽晶的旋转和液体之间的张力,并向上提升来制造单晶体。目前,拉晶基本上采用一次性加料方式,即在加热前一次性地往坩埚内加满多晶硅料,由于硅料的外形尺寸原因,在坩埚内盛放硅料时会造成很大部分的空隙,从而不能...
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