技术编号:12450980
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是有关一种载具,特别是关于一种可调整及可分离的活动式载具。背景技术随着半导体工业持续的进展,超大型积体电路(UltraLargeScaleIntegratedCircuits;ULSI)需经过多道繁复的处理程序,例如蚀刻、研磨、扩散、沈积等步骤,才能生产出来。对同一批次的晶圆而言,由投片生产到出货,要在数个机台间反复的传递运送并进行各站的制程才能完成。如图1所示,目前大多在天花板10设置移动装置14,利用与移动装置14接合的载具16承载装置晶圆的晶圆盒18,使晶圆盒18在机台12间传送...
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