技术编号：12485438
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种粒子束设备以及一种用于运行粒子束设备的方法和特别是一种用于清洁这样的设备的方案。背景技术已知的粒子束设备、例如电子束写装置包括具有粒子束光学器件的柱，以便通过所述粒子束光学器件在真空样品室中在曝光运行中曝光所期望的图案。在此，在运行持续时间过程中，有机污物沉积在柱和/或真空样品室中的部件的表面上，例如在光圈上或者在静电转向系统的电极上。这些污物例如来源于在真空样品室中的衬底上的对于光刻工艺所需的漆。通过借助粒子束的轰击例如电子从漆中释放有机分子，所述有机分子蒸发、从真空样品室扩散到...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。