技术编号：12514544
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是有关于一种具有固定晶圆的晶圆承载装置及其晶圆传载手臂，尤其涉及一种具有防滑效果，且于高速旋转时能够快速稳定移动运送晶圆的装置。背景技术随着科技的快速发展，高科技电子产品使用于日常生活中已是相当普遍，例如手机、主板、数码相机等电子产品，这些电子产品内部皆装设并布满许多IC半导体，而IC半导体的材料来源就是晶圆，为了能够因应各式高科技电子产品的大量需求，晶圆代工产业皆以如何令晶圆制造流程更加快速、有效率为目标，不断地进行研发与改良突破。晶圆的加工程序十分繁复且精密，大致上包括有：定位、微...
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