一种碳化硅的回收方法与流程技术资料下载

技术编号:12579287

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本发明属于一种回收方法,特别是一种碳化硅的回收方法。背景技术目前硅片已广泛应用于太阳能工业及电子产业,而硅片的制作通常是对硅晶棒进行切割获得。其中,硅晶棒切割通常是以切割工具伴随使用切削油(例如聚乙二醇,PEG)对硅晶棒进行切割而产生切削砂浆,使得该切削砂浆中通常包含有碳化硅、硅、切削油以及切削工具的切削损失等成分。若直接将切削砂浆丢弃,不仅造成环境污染,亦将造成原料材料的浪费。因此,目前已有相关单位投入研发切削砂浆中碳化硅及硅的回收相关技术。目前已知碳化硅的回收方法,通常是先在切削砂浆中加入大...
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