技术编号：12589015
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及集成光波导陀螺的谐振腔，具体是一种多缝隙垂直环形表面等离子光波导的光学陀螺谐振腔结构。背景技术谐振腔作为集成光波导陀螺的核心敏感单元，其性能参量直接影响集成光波导陀螺的灵敏度，对实现高精度陀螺至关重要。现有集成光波导陀螺的谐振腔广泛采用由表面等离子光波导构成的环形谐振腔。然而实践表明，现有谐振腔由于自身结构所限，存在如下问题：其一，现有谐振腔无法平衡表面等离子光波导的传播损耗和弯曲损耗，由此导致集成光波导陀螺的灵敏度低。其二，现有谐振腔无法减小光信号与金属表层的接触面积，由此同样导致集...
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