技术编号：12593492
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及液晶显示器制备领域，特别是涉及一种用于制备显示基板的曝光系统及曝光控制方法。背景技术在彩色滤光片基板的生产工艺中，曝光机(Scanner)是实现彩色滤光片基板高精度曝光的关键设备。其中，在材料的配合下，曝光机可以实现4μm以下的BMCD(CriticalDimension，线宽)的高精细产品生产，但是，在高精度产品的生产过程中对产品的TP(TotalPitch)数据的要求很高。但是曝光机的曝光精度极易受温度、湿度、玻璃基板(Glass)变形等因素而发生变化，因此需要实时测量TP数据并进...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。