技术编号：12646325
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种离子源的离子引出栅网板的设计，属于电子技术领域。背景技术离子源广泛应用于光学真空镀膜、材料表面精细抛光与蚀刻等领域，在光学辅助镀膜离子源中，栅网板通常做成凸曲面形状，以获得在一定空间角中扩散形的离子束流，离子束截面的能量分布希望尽可能均衡，在被照射的工件表面希望各处轰击能量尽可能一致，栅网板的凸曲面形状，决定了离子束流的运行轨迹和空间角中离子束流截面的能量分布。发明内容现有的离子源离子引出系统栅网板，如考夫曼源中的屏极、加速极两层栅网板，或射频源中的屏极、加速极、抑制极三层栅网板，...
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