技术编号：12646405
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种PECVD双面沉积设备。背景技术在光伏太阳能行业，高效率PERC太阳能电池的制造要经过制绒，扩散，刻蚀，镀膜，丝网印刷，烧结和退火七大工序。其中，镀膜工序的目的是采用等离子增强化学气相沉积的方法在硅片背面镀氧化铝膜和氮化硅膜，以及在硅片正面镀氮化硅膜。目前，光伏行业大多采用管式PECVD或板式PECVD对硅片单面镀氮化硅膜，操作员工将花篮中的硅片插入专门的石墨舟或石墨框里，或者通过自动上下料机将硅片插入石墨舟或石墨框，然后将石墨舟或石墨框放入炉管中镀膜。...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。