技术编号：12660131
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光学器件技术领域，具体地说涉及一种变形镜及其加工方法。背景技术自适应光学技术在激光装置、天文观测领域的光束质量控制中有着广泛的应用，而变形镜是自适应光学技术中的核心器件。目前，变形镜的种类较多，如压电叠堆驱动变形镜、双压电片变形镜、微机械薄膜变形镜、液晶空间相位器等，其中，双压电片变形镜是一种常用变形镜，已经广泛应用于众多超短脉冲激光装置中。传统的双压电片变形镜中压电层电极直接通过导线与航插相连接，导线与电极进行粘接具有较高的操作难度，较难实现高空间分辨率，且粘接存在一定应力。发明内容...
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