技术编号:12680118
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。:本发明属于电子器件的制备工艺领域,涉及一种金属掺杂氧化锌纳米纤维场效应晶体管的制备方法,在纺丝过程中通过简单金属元素掺杂来提高饱和电流、开关比和载流子迁移率,该掺杂方法可以使器件的阈值电压大幅度左移,进而降低功耗,提高器件的性能。背景技术:21世纪后,以金属氧化物半导体作为有源层的场效应晶体管(FET)开始崭露头角,因其良好的化学稳定性、较低的材料成本、简单的制备工艺和较高的载流子迁移率引起了人们广泛的关注和研究。目前,对于金属氧化物的研究主要是非晶态的二维薄膜,然而,二维的薄膜存在电子传输路...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。