技术编号：12680602
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。示例实施方式涉及垂直存储器件及其制造方法。更具体地，示例实施方式涉及包括垂直层叠的栅线的垂直存储器件及其制造方法。背景技术近来，包括关于基板的表面垂直层叠的多个存储单元的垂直存储器件已经被发展，用于实现高集成度。在垂直存储器件中，具有柱形或圆柱形的沟道可以从基板的表面垂直地突出，并且围绕该沟道的栅线可以反复地层叠。随着垂直存储器件的集成度变得更大，栅线的数目以及包括沟道和栅线的块区(block)的数目会增大。因此，会增加垂直存储器件的复杂性。发明内容示例实施方式提供一种具有改善的工艺和操作可靠性...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。