技术编号:12680997
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种薄膜晶体管、阵列基板和显示装置。背景技术随着大尺寸显示技术的发展,Cu导线在薄膜晶体管的应用越来越广泛。但Cu导线容易被氧化且容易扩散的特性,极大的限制了其应用。为克服Cu导线容易被氧化且容易扩散的特性,现有技术中,在Cu导线的一侧或两侧设置金属合金层(例如钼金属合金),形成多层膜层结构的导线。然而,当钼金属合金位于多层膜层结构的顶层时,在光刻工艺中,钼金属合金与光刻胶(PR胶)之间附着力低,容易在进行光刻工艺过程中(例如photo(曝光)后或者刻蚀时)发生P...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。