技术编号：12715602
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光学设备、具有光学设备的曝光装置及物品制造方法。背景技术已知可以校正由光学系统的光学元件的制造误差、组装误差等导致的像差等的光学设备。光学设备包括如下的镜子：该反射镜的反射表面的形状可被改变并且被例如用在经由投影光学系统将光投影到物体的设备(诸如曝光装置或激光加工设备)中。通过将光学设备设置在投影光学系统的光路上并调整反射镜的形状可以校正像差等。反射镜的形状的调整由设置在反射镜的背面上的多个驱动单元来执行，但是由于从驱动单元发出的热而可能难以将反射镜的形状改变为期望的形状。因此，日本专...
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