技术编号：12715776
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及形成有具有p型半导体区域和n型半导体区域的芯线的半导体光波导。另外，涉及具备这样的半导体光波导的半导体光调制器、以及具备这样的半导体光调制器的半导体光调制系统。背景技术公知有具有由半导体(例如硅)构成的芯线的半导体光波导。另外，公知有形成有具有p型半导体区域和n型半导体区域的芯线的半导体光波导作为在pn结的接合面附近对光进行相位调制的相位调制器发挥作用。在pn结的接合面附近传输的光根据从外部对pn结的两端施加的电压即调制电压，对其相位进行调制。这样的半导体光波导例如用于通信用收发器的发...
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