技术编号:12726627
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光谱仪扫描机械位置误差引起扫描波长误差的软硬件相结合校正方法,尤其是涉及光栅正弦扫描型的单色仪或光谱仪波长误差的校正方法。背景技术光栅扫描型光谱仪的波长扫描采用正弦传动机构,以步进电机驱动丝杠旋转、螺母移动,螺母导向推动滚子、带动摆杆摆动,使平面光栅转动,输出波长随电机转角呈线性关系的单色光。这种光栅扫描机构在装配过程中存在光零位置误差和摆杆滚子导向误差。光零位置是指光谱仪输出零级光的位置。此时平面光栅法线与分光系统入射光线和衍射光线的夹角平分线(以下简称分光平分线)重合,与光栅连...
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