技术编号：12782225
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及精密测距的技术领域，尤其涉及到一种音圈电机驱动二维超精密定位平台。背景技术随着科学技术的发展，对超精密位移平台的性能要求越来越高，超精密位移平台越来越趋向微型化、商业化、精准化。超精密位移平台越来越广泛应用于：新型机械制造、超精密加工、生物工程、集成电路制造、医疗科学、扫描探针显微镜、扫描隧道显微镜、光学调整、光纤对接。普通的超精密位移平台多采用步进电机作为驱动电机和滚珠丝杠作为传动机构的配合结构，在满足相同的位移以及相同的载荷时，该结构的体积相对较大，同时滚珠丝杠的传动机构会存在传动...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。