技术编号：12791805
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及MEMS(微机电系统)压电器件以及对应的制造方法。背景技术以下讨论将特别参考MEMS压电器件作为用于能量采集(或能量拾取)应用的能量微型发电机的用途。如所已知的，用于从机械或环境能量源采集能量的系统唤起对各种技术领域的相当程度的兴趣，例如在便携式或移动电子装置领域。通常，能量采集系统被设计成采集和存储由机械源或环境源生成的能量并且将其传递给电类型的通用负载，该负载可以被供电或者在电池的情况下被再充电。这样的系统比如可以使得能够提供没有电池的便携式电子装置或者使得能够在相当的程度上增加这...
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