技术编号:12794479
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于金属材料表面改性和机械加工技术领域,涉及一种Zr-Al-O-N四元单层超硬薄膜材料及其制备方法。背景技术自上个世纪80年代美国的Vac-Tech公司和Mul-Arc公司把TiN薄膜成功地应用到刀具表面涂层上以来,工具硬质镀层技术已经走过了近40年的历程。在此期间,为了不断满足机械加工业向更高速和连续化生产方向发展以及在更加苛刻条件下服役的需求,硬质膜层材料从最初的第一代TiN,过渡到第二代的TiCN、TiAlN等,又发展至目前花样繁多的多组元复合膜和多层膜体系。多层膜通过对膜层的搭配和...
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