技术编号：12854658
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种碳酰氟的制造方法，该方法是能够使氟化氢和对甲基苯异氰酸酯进行反应、安全且有效地得到高纯度碳酰氟的新方法。背景技术碳酰氟(COF2)作为一直以来用作半导体工业等中所使用的CVD(化学气相蒸镀)装置的清洁气体的、全球暖化系数高的气体的代替物来使用等，其需求逐渐扩大。目前关于COF2的合成方法主要有：1、以CO和CO2为原料的制造方法；2、以光气为原料的合成方法；3、以三氟甲烷或一氯二氟甲烷为原料的制造方法；4、以四氟乙烯和氧为原料的合成方法。方法1中，由于CO2沸点（-78.5℃)和C...
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