技术编号:12871252
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种预涂单元及包括此的药液喷嘴管理装置,尤其涉及一种具有药液的预排出、药液喷嘴的清洗及净化功能的预涂单元及包括该预涂单元的药液喷嘴管理装置。背景技术通常,在半导体设备或平板显示器(FPD;flatpaneldisplay)的制造工艺中,执行将与光源反应的感光液涂布在薄膜上的涂覆工艺,以使在被处理基板上执行特定功能的薄膜,如氧化薄膜、金属薄膜、半导体薄膜等被图案化成所期望的形状。如上所述,在被处理基板的薄膜以构成预定的电路图案的方式涂布感光液而涂覆感光膜,并将所述感光膜对应于电路图案...
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