技术编号：12885932
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及屏幕显示技术领域，尤其涉及一种剥离药液成分量测方法及系统。背景技术在TFT制程中，剥离（Stripper）工艺起到光阻剥离的作用，即把定义图形（Patten）的光阻（Photorisist，简称PR）用Stripper药液去除的工艺。待进行光阻剥离制程的玻璃经过Stripper制程后光阻溶解在Stripper药液中。药液中的PR浓度和其有效成分胺（Amine，剥离光阻的有效成分）是影响光阻去除能力的关键性参数，通常主设备会配备附属设备—光阻分析仪来量测和监控药液中PR、H2O及Amin...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。