技术编号:12888950
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属半导体器件制备技术领域,特别涉及一种脊状型LED。背景技术随着集成电路的不断发展,金属互连信号延迟与功耗的问题愈发突出,高速光互联技术是解决该问题的有效技术手段。实现高速光互联技术,需要解决诸多科学问题。其中,波导型发光器件(LED)集成发光器件与波导,是Si基单片光电集成中的一个重要研究内容。Ge半导体为间接带隙半导体,通过改性技术(如应力、合金化等),其可转变为准直接带隙或者直接带隙半导体,应用于Si基波导型LED发光效率高,且与Si工艺兼容,是当前领域内研究、应用的重点。从目前该器...
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