技术编号：12916735
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及太赫兹高频器件的生产制备领域，具体地，涉及太赫兹返波管真空器件的排气方法。背景技术太赫兹波(THz)是指频率在0.1THz到10THz范围的电磁波，其波长大概在0.03到3mm范围，介于微波与红外之间。在科研和民用方面微波、可见光、红外等技术已被广泛应用。但太赫兹技术发展滞后，究其原因主要在于缺少探测器和发射源。因此如何能有效地产生出高功率、高能量、高效率且能在常温环境下稳定运行的且宽带可调的太赫兹辐射源来，以及如何能将其方便、灵活地运用于日常的科研工作和实际生活中，已经成为科研工作者...
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