技术编号：12923705
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种TEC温控结构，尤其涉及一种基于TEC的光子芯片温控结构。背景技术半导体制冷器TEC是利用半导体材料的珀尔帖效应制作而成的，所谓珀尔帖效应是指，当直流电通过两种半导体材料组成的电偶时，其一端吸热，另一端放热的现象。基于TEC的温控方案具有体积小易于控制等优点，在半导体领域有着广泛的应用。近年来硅基光子学得到了长足的发展。由于硅基集成光器件的制作工艺与微电子工艺完全兼容；而光子芯片中传输的载波光波又是一种频率极高的电磁波能够为信号的传输提供极大的带宽；此外还有较小的延迟量和极大的...
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