技术编号：12924631
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及设备技术领域，特别是涉及一种传输装置监控系统。背景技术在半导体工厂中，需要通过机械手臂(传输装置)将晶圆盒(cassette或FOUP)放到机台上，并通过另一机械手臂(传输装置)将晶圆(wafer)放到机台内部的腔中。如果机械手臂的传送运动不平稳，则机械手臂的震动造成晶圆震动，从而产生较多的颗粒(particle)；特别是带动机械手臂的马达卡死时，还需要人工地将晶圆从腔或机械手臂上取下，很容易划伤晶圆，造成晶圆的报废。在现有技术中，只能当马达或机械手臂出现异常时，进行问题部件的更换...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。