技术编号：12946171
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及显示技术领域，特别是涉及一种基板烘烤装置及方法。背景技术在生产阵列基板的光刻工艺中，需要对投入清洗后、涂光刻胶后、光刻胶显影后的基板进行烘烤，在烘烤过程中，基板需与加热平台保持特定的距离，这样可保证干燥温度可较好的传递至基板，对经过减压干燥的基板利用热板内加热块提供均匀温度进行加热，进一步去除光阻中的溶剂，并增强光阻在基板上的附着性。本发明的发明人在长期的研发中发现，在目前现有技术中，通常采用在加热平台上设置一些支撑柱，以支撑基板与加热板保持一定距离。但在加热的过程中，支撑柱与基板的接...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。