技术编号:12948247
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体光电探测器技术领域,具体涉及一种以石英片为衬底、以AgNPs内部修饰的纳米TiO2薄膜有源层为基体材料、以Au为金属插指电极的快速响应紫外光探测器及其制备方法。背景技术宽禁带半导体紫外光探测器由于其小型化、功耗低、成本低、精度高等优点,在现代通信、火焰探测、臭氧检测等方面得到广泛的应用。随着半导体材料和器件在制作技术的更新和发展,现代紫外探测器向着高稳定性、高灵敏度、高速度、高信噪比的方向不断发展。TiO2作为一种氧化物半导体材料,禁带宽度较大,在紫外波段具有良好的吸收特性,而几...
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