技术编号:12990524
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及玻璃减薄工艺领域,具体而言,涉及一种用于除去玻璃减薄蚀刻液中的絮状物的方法及其净化设备。背景技术随着电子显示净化设备朝着轻薄化的方向发展,显示玻璃屏的厚度已从1996年的1.1毫米降至目前0.5毫米,在手机等便携式净化设备中应用的玻璃厚度更下降至0.3毫米以下。目前玻璃的减薄工艺多是利用氢氟酸和玻璃中二氧化硅化学反应以达到蚀刻薄化的目的。常见的玻璃基质减薄及表面处理酸液的基本配方为:15-30%HF、1-5%H2SO4,3-10%HCl以及5-20%NH4HF2。玻璃减薄蚀刻液在使用过...
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