技术编号:13032874
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光电探测器领域,具体涉及一种集成像元级微透镜与亚波长金属光栅的InGaAs阵列探测器,以及其制备方法。背景技术短波红外InGaAs(铟砷化镓)探测器具有可室温工作、高迁移率和可靠性好等优点,是小型化、低成本和高可靠性短波红外探测系统的最佳选择,在微光夜视、激光探测、航天遥感成像等领域有着广泛的应用需求。传统的光探测器只能探测光子的强度信息,而遗漏了光子所携带的偏振、相位等其他信息。光的偏振作为光场的一个重要参数,会随着物体的表面理化特性、观测角度以及内部特性而变化,所以偏振探测是进一步...
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