技术编号:13074515
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及层叠膜及其制造方法。背景技术近年来,有机电致发光元件(以下也称为“有机EL元件”)作为自发光元件受到关注。有机EL元件是具有在支撑基板上以电极夹持有机化合物的发光层而成的结构,通过在电极间供给电流而发光的元件。对于有机EL元件,如果氧气、水蒸气等侵入元件内部,则会劣化,产生被称为暗斑的发光不良部。因此,在有机EL元件的领域,为了抑制氧气和水蒸气侵入元件内部,提出了将防止水蒸气等气体透过性能高的基板用于其发光元件部的支撑基板。作为有机EL元件所使用的具有防止气体透过性能的基板,例如,提出...
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