技术编号:13139731
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明的各方面和实施方式涉及一种等离子体处理装置和等离子体处理方法。背景技术以往,已知一种使用通过高频电源生成的高频电力在处理容器内生成等离子体的等离子体处理装置。此外,还有一种通过多个高频电源生成频率不同的多个高频电力的技术。专利文献1:日本特开2012-15534号公报发明内容发明要解决的问题然而,在使用通过高频电源生成的高频电力来在处理容器内生成等离子体的情况下,存在难以在低压且低等离子体密度的环境下稳定地维持等离子体的问题。例如,为了在低压的环境下维持等离子体,考虑使通过高频电源生成的高...
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