压电致动器、压电电机、机器人、机械手以及泵的制作方法技术资料下载

技术编号:13141598

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本发明涉及压电致动器、压电电机、机器人、机械手以及泵。背景技术作为具备压电元件的压电致动器,已知有基于伴随着压电元件的驱动通过压电效应而产生的电荷(检测信号)来判定压电元件的驱动状态的压电致动器(例如,参照专利文献1)。例如,专利文献1所记载的装置具有基于配设于压电元件与接地点之间的电路的检测电阻的两端的电位差来判定压电元件的状态的状态判定机构。专利文献1:日本特开2008-199774号公报在专利文献1所记载的装置中,由于针对每个压电元件都需要构成状态判定机构的电路,所以存在在使用多个压电元件...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。

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