技术编号：13171445
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及微视觉测量系统的标定模板，具体是一种飞秒激光加工视觉系统的图像标定模板。背景技术飞秒加工所涉及的领域为微米级、纳米级超精细加工，多用于对半导体材料、石英玻璃、聚合物材料等的微通道加工。为方便采用图像测量方法，实现对所加工的微结构进行几何尺寸测量，需要对视觉系统进行精确标定，而现有视觉标定板尺寸较大，无法满足微、纳尺度结构的视觉系统标定，如CN201421323Y公开的一种二维图像标定板，主要针对通用视觉进行标定，而不适应针对激光用“微视觉”进行标定。实用新型内容本实用新型旨在解决现...
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