紫外光发光元件的制作方法技术资料下载

技术编号:13176248

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技术领域本发明涉及一种紫外光发光元件。背景技术波长大约为200nm~350nm的深紫外光在杀菌、净水、光刻、照明等各种各样的领域加以利用。以前,作为深紫外光的光源,使水银产生辉光放电的水银灯得到广泛使用。但是,从环境负荷的角度考虑,例如像欧洲的WEEE&RoHS指令那样的对水银等环境有害物质的限制变得严格。因此,希望开发用于代替水银灯的光源。另外,水银灯由于为点发光,因而在利用于需要大面积且强度均匀的光的光刻等的情况下,也存在需要复杂的光源设计等问题。作为不使用水银的深紫外光的光源,例如...
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