IMC蒸发舟皿组件的制作方法技术资料下载

技术编号:13214673

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技术领域本发明涉及可用于蒸发金属的金属间复合材料(IMC)蒸发舟皿组件。更具体地讲,本发明涉及IMC蒸发舟皿组件,该IMC蒸发舟皿组件包括IMC蒸发舟皿和携带IMC蒸发舟皿的绝热包装件。背景技术迄今为止,IMC蒸发舟皿已经可用于提供容器或平台,在所述容器或平台上熔化金属以便蒸发金属以用于沉积在基底上。涉及蒸发舟皿或其他加热装置的示例性专利文献如下:授予Hamister的美国专利No.2,840,458、授予Mandorf的美国专利No.3,181,968、授予Malkin的美国专利No.3,34...
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