技术编号:13218479
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种光学位置测量装置。所述位置测量装置适合用于同时检测两个能相对彼此运动的物体的垂直的和至少一个横向的自由度。背景技术这类光学位置测量装置例如由JP2005-326231A的图6已知。位置测量装置用于检测两个能相对彼此运动的物体的相对位置,并且由与物体中的一个相连的扫描单元和与这两个物体中的另一个相连的反射量具组成。关于这两个物体的相对位置信息由至少两对分射束的干涉叠加产生。在此,从光源射入的射束在扫描单元中在第一分解平面内经由第一分解元件分解成至少一个第一、第二和第三分射束。...
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