技术编号：13312367
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及扩散炉检测技术领域，特别地，涉及一种扩散炉激光检测装置。背景技术扩散炉是集成电路生产线前工序的重要工艺设备之一，它的主要用途是对半导体进行掺杂，即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域。目前，最常用的扩散炉呈筒状，一端开口，另一端封闭成弧状且中部连接一进气管，但是，长时间的高温工作会导致扩散炉管上凸或者下凹变形，然而目前，检测使用过的炉管是否变形以及新炉管的安装调试，主要依靠调试人员的经验来判断，没有一套专业的且精...
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