技术编号：13312603
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及传感器制造技术领域，尤其涉及一种提高过载响应速度的硅电容压力传感器。背景技术硅电容压力传感器利用电容原理测量压力，是压力测量仪表的关键部件。与扩散硅压力传感器相比，硅电容压力传感器有其独特的优点，是现代微机电压力传感器的一个重要分支和组成部分，也是对硅压阻式传感器的重要扩充。现有的硅电容压力传感器主要是由两个硼硅玻璃片和一个硅片键合形成三明治结构，硼硅玻璃的蠕变大，工艺过程中产生的热应力通过蠕变缓慢释放会降低传感器的长期稳定性；而且当压力过载时，极板之间的回弹力很大，就会阻止中间硬...
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