一种真空计在线校准室的制作方法技术资料下载

技术编号:13312633

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一种真空计在线校准室所属技术领域本发明涉及真空技术领域,特别是于真空计校准技术领域。背景技术目前,公知的真空计在线校准,一般是在真空设备的被校真空计测试口上,安装“T”型三通,三通的一端通过法兰连接真空设备的被校真空计测试口,三通的其余两端分别通过法兰连接标准真空计和被校真空计。校准时,利用真空设备自有的抽气机组提供真空度,由“T”型三通传递真空值量值,使“T”型三通内的真空值达到选定的校准点,进行真空计在线比对校准。真空值是气体分子在真空环境中相互碰撞而产生的压力,在真空环境中,稀薄的气体分子...
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