功率半导体器件的制作方法技术资料下载

技术编号:13392361

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本发明涉及一种功率半导体器件,特别是一种碳化硅上硅(silicon-on-silicon)半导体器件。背景技术能够在恶劣环境和/或高温(例如>300℃)下运行的半导体器件在广泛领域中受到极大关注,包括(但不限于)石油和天然气勘探、航空航天、运输和可再生能源。然而,高温趋于对现有的硅基器件具有不利影响。当环境温度升高到300℃及以上时,p-n结漏电流呈指数增加,并且漂移电阻和沟道电阻线性增加,导致功率损耗增加,并且导致由于自热引起的较大的热失控敏感性。功率半导体器件,例如绝缘栅双极晶...
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