技术编号：13418681
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及自动光学检测领域，具体涉及一种缺陷检测装置及方法。背景技术在晶圆加工过程中需要自动光学检测(AutomaticOpticInspection，AOI)设备来定位缺陷，以提高芯片质量和提高产量。与人工目检相比，AOI设备能够保证检测标准的一致性，并能对缺陷进行分类，还可以帮助工艺工程师提供跟踪和预防潜在问题的信息。采用AOI设备进行检测主要有两个原因：其一，AOI设备能够检测出刮痕、缺口之类的缺陷，虽然在该类缺陷不严重时，可以通过电性能测试检测出，但是容易缩短产品的寿命；其二，电性能测试...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。