技术编号:1357177
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了一种,属于太阳能电池生产。背景技术硅片清洗对半导体工业的重要性早在50年代初就引起人们的高度重视,这是由于硅片表面沾污的杂质严重影响电池片的性能、可靠性和成品率。硅片表面的污染物的杂质可归纳为三类(1)油脂、松香、环氧树脂、聚乙二醇等有机物;(2)金属、金属离子及一些无机化合物;(3)尘埃及其它颗粒等。硅片清洗要求即能去除各类杂质又不破坏硅片。这些杂质的污染特别是金属杂质在高温扩散中会形成晶格缺陷,严重影响到电池片的各性能指标。所以电池在生产之...
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