技术编号：13573586
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及精馏塔除轻技术领域，具体为一种三氯氢硅精馏塔除轻系统。
背景技术
近年来随着多晶硅产量的不断攀升，生产中对三氯氢硅的需求量不断扩大，质量要求越来越高，在三氯氢硅精馏系统的生产过程中，由于原料等各种因素的影响，精馏塔进料组分中不可避免的会存在硼、磷、甲基氯化物等各种杂质。如果原料中的各种杂质去除的不够彻底，将会严重影响三氯氢硅的品质等级。现有的精馏系统一般采用的是筛板塔，经过精馏塔处理后的三氯氢硅产品硼、磷等指标基本在100PPb以内，基本上能满足有机硅...
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