技术编号:13618429
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及微通道板清刷测试中的面电子源,特别是一种能应用与大面积微通道板的均匀面电子源。背景技术大面积微通道板(MCP)作为一种高空间分辨的电子倍增探测器,在微光夜视、空间探测等领域具有广泛的应用。由于MCP一般应用在真空器件中,MCP内壁吸附的残气将会大大影响器件中光电阴极的灵敏度,从而降低器件的稳定性以及寿命,因此在MCP生产过程中除气是一个重要的不可或缺的步骤。MCP的除气采用电子清刷的方法,在真空系统中,通过面电子源发射电子,电子入射到MCP上,由于MCP二次电子倍增的作用,将产...
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